Excimerlasergestützte Technologien für die Mikroelektronik.
Vom Fachbereich Regelungs- und Datentechnik der Technischen Hochschule Darmstadt...genehmigte Dissertation. Mit Abb.
Düsseldorf, VDI 1989. 142 S. Orig.-Karton. (Fortschritt-Berichte VDI-Z., Reihe 9 Elektronik, Nr. 96).
* "von Dipl.-Phys. Walter Spieß..." (Titel, bzw. "...Dieburg" auf Einband). * (Ein Titel aus unserem Online-Katalog "Technik und Verkehr - Elektrotechnik, Nachrichtentechnik"). * Reihe:
ISBN: 3-18-149609-X
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